CN119601478A 图案晶圆棱锥脏污缺陷检测方法、装置、系统及存储介质 （宁波九纵智能科技有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119601478A

(43)申请公布日2025.03.11

(21)申请号202311118769.9

(22)申请日2023.09.01

(71)申请人宁波九纵智能科技有限公司

地址315300浙江省宁波市慈溪市白沙路

街道三北大街2588号B幢8楼803室

(72)发明人王孟哲梁正南赖勉力李恩全

(74)专利代理机构合肥初航知识产权代理事务所(普通合伙)34171

专利代理师金娟娟

(51)Int.Cl.

H01L21/66(2006.01)

G06T7/00(2017.01)

G06T7/62(2017.01)

G06T3/4023(2024.01)

G01N21/94(2006.01)

权利要求书1页说明书3页

(54)发明名称

图案晶圆棱锥脏污缺陷检测方法、装置、系

统及存储介质

(57)摘要

CN119601478A本发明涉及晶圆缺陷检测技术领域，具体地说，涉及一种图案晶圆棱锥脏污缺陷检测方法、装置、系统及存储介质。该检测方法通过多次比较不同缩放倍数的缩小尺寸后的基准灰度图和实际灰度图的灰度差值，进行缺陷检测。故而能够较佳地实现检测速度的提升，且能够适用于不

CN119601478A

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