水下流场传感器柔性复合材料设计与制造进展.pdfVIP

3.传感器水下测试

1.G/PI压阻阵列

(1)压阻阵列可行性尝试

(2)压阻阵列工艺确定

(3)压阻阵列工艺制造，设计测试电路进行

分布测试

2.水场传感器方案的提出

(1)G/PVDF放电击穿为压阻材料可行性尝试

(2)流场感知传感器工艺设计

(3)流场传感器制造调试

主要进展

1.水场传感器工艺路线

主要进展

1.水场传感器工艺路线

a:玻璃片上旋涂PDMS，3000r/min30s。

b:将25m厚的PI薄膜平铺在PDMS上，120℃15minPDMS。

c:旋涂2.5m厚的BP212正胶，10s，显影生成直径为50m的柱子掩膜。

d:RIE刻蚀，氧气流量为100sccm，功率150W，高阀阀位25%，值46mTorr，刻

蚀5min，用