CN119609824A 晶圆倒角装置和晶圆倒角方法 （西安奕斯伟材料科技股份有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119609824A

(43)申请公布日2025.03.14

(21)申请号202411703387.7

(22)申请日2024.11.26

(71)申请人西安奕斯伟材料科技股份有限公司

地址710065陕西省西安市高新区西沣南

路1888号1-3-029室

(72)发明人党快乐白强强潘石郭智昂兰洵

(74)专利代理机构西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙)61253

专利代理师宋东阳王渝

(51)Int.Cl.

B24B9/06(2006.01)

B24B37/00(2012.01)

B24B37/34(2012.01)

B24B47/20(2006.01)

B24B1/00(2006.01)

权利要求书2页说明书7页附图5页

(54)发明名称

晶圆倒角装置和晶圆倒角方法

(57)摘要

CN119609824A本公开涉及晶圆倒角装置和晶圆倒角方法。在一方面中，提供了一种用于对晶圆进行倒角的装置，其包括：磨轮，磨轮具有研磨部；第一进给单元，用于使磨轮与晶圆之间产生在晶圆的径向上的第一相对运动，以通过研磨部沿着晶圆的径向对晶圆的材料进行去除的方式对晶圆的至少第一边缘进行倒角；第二进给单元，用于使磨轮与晶圆之间产生在晶圆的厚度方向