GB/TXXXX—XXXX
3
硫化镉靶材
1范围
本文件规定了硫化镉靶材的分类、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输与贮存、随行文件和订货单内容。
本文件适用于硫化镉粉末经加工成型,再高温气氛烧结形成的红色陶瓷材料,主要应用于磁控溅射制备应用于光电探测器、太阳能电池、光电器件的硫化镉薄膜。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
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