CN119864313A 一种晶圆定位机构、定位方法以及晶圆处理装置 （华海清科(北京)科技有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119864313A

(43)申请公布日2025.04.22

(21)申请号202411976837.X

(22)申请日2024.12.31

(71)申请人华海清科（北京）科技有限公司

地址100000北京市大兴区经济技术开发

区地盛北街1号院40号楼11层1107室

(72)发明人王鹏王延华徐俊成刘丰迪

(51)Int.Cl.

H01L21/687(2006.01)

H01L21/68(2006.01)

H01L21/67(2006.01)

权利要求书2页说明书8页附图3页

(54)发明名称

一种晶圆定位机构、定位方法以及晶圆处