GB 50987-2024 中文版 微电子工厂纯水与废水处理工程设计标准.docxVIP

GB50987-2024中文版微电子工厂纯水与废水处理工程设计标准

前言

本标准为中华人民共和国国家标准GB50987-2024《微电子工厂纯水与废水处理工程设计标准》，是针对微电子、集成电路、半导体芯片、微纳元器件制造领域纯水制备、输送回用及生产废水处理工程的专项强制性设计标准。本标准替代旧版微电子水处理相关零散规范与行业导则，整合电子工业超纯水高精密净化、分质供水、废水分类收集、专项治理、资源化回用、安全环保管控全流程技术要求。

本标准依据《中华人民共和国水污染防治法》《电子工业水污染物排放标准》《洁净厂房设计规范》及SEMI国际半导体纯水标准、国家绿色制造相关政策编制，统一微电子工厂水处理工程的设计原则、工艺选型、设备配置、管道布设、自控系统、施工验收、运维管理技术准则，解决行业长期存在的纯水水质精度不足、废水混排治理不彻底、水资源利用率低、系统稳定性差、合规性缺失等痛点。

本标准适用于各类新建、改建、扩建的集成电路、晶圆制造、半导体分立器件、微电子精密元器件、显示面板微电路等微电子生产工厂的纯水制备、输送分配、废水收集处理及中水回用工程设计，是微电子工厂水处理工程规划、设计、施工、验收、运维、环评核查的法定核心依据。

1总则

1.1编制目的

1.1.1规范微电子工厂纯水、废水处理工程的设计流程与技术参数，统一行业设计标准，杜绝非标设计导致的纯水水质不达标、芯