CECS 139-2025 中文版 超纯水管路系统设计与安装规范.docxVIP

CECS139-2025中文版超纯水管路系统设计与安装规范

前言

本标准为中国工程建设标准化协会标准CECS139-2025《超纯水管路系统设计与安装规范》，由中国工程建设标准化协会正式发布，2025年12月01日起实施。本规范为国内电子工业超纯水输送领域首部专项管路设计、施工、安装与验收一体化标准，填补了行业长期存在的管路选材混乱、洁净设计无统一标准、安装工艺不规范、隐性水质衰减无管控、系统二次污染频发的技术空白。

本规范编制深度对标SEMIF57、SEMIF63国际半导体纯水输送规范，全面衔接GB50747-2024《电子工业纯水系统设计规范》、GB51132-2025《电子工业纯水系统施工及验收规范》、CECS517-2023《高纯水处理设备选型与配置规范》、CECS621-2024《电子工业超纯水TOC降解系统设计规程》，构建了“材质分级—水力优化—洁净结构—精密安装—洁净吹扫—长效运维”的全链条超纯水管路技术体系。

本规范聚焦半导体先进制程、新型显示、光伏新能源、精密电子封装、高端实验室等核心场景，针对行业普遍存在的管路材质析出、死区死水累积、生物膜滋生、TOC异常抬升、颗粒物超标、微渗漏、管路老化失效等工程痛点，统一各级超纯水输送管路的设计参数、选材阈值、结构标准、焊接工艺、安装精度、清洗验收及运维准则。规范编制兼顾高端制程超痕量污染零容忍要求与常