氮化铝单晶复合衬底.pdfVIP

氮化铝单晶复合衬底

1范围

本文件规定了氮化铝单晶复合衬底的牌号与分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、

运输、贮存、随行文件和订货单内容。

本文件适用于直径在50.8 mm～203.2 mm之间氮化铝单晶复合衬底的生产、质量控制、采购及销售。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T1555半导体单晶晶向测定方法

GB/T6624硅抛光片表面质量目测检验方法

GB/T14264半导体材料术语

GB/T30866碳化硅单晶片直径测试方法

GB/T30867碳化硅单晶片厚度和总厚度变化测试方法

GB/T31225椭圆偏振仪测量硅表面上二氧化硅薄层厚度的方法

GB/T32188氮化镓单晶衬底片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法

GB/T32189氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法

3术语和定义

GB/T14264界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

氮化铝单