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中科大现代传感技术课件第6章 基于MEMS的微传感技术.pptVIP

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  • 2026-05-30 发布于云南
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中科大现代传感技术课件第6章 基于MEMS的微传感技术.ppt

    现代传感技术黄元庆现代传感技术黄元庆第六章基于MEMS的微传感技术微机电系统（MicroElectro-MechanicalSystem，MEMS）作为世界瞩目的重大科技之一，得到了迅速的发展，从而促进了MEMS微传感器的研究与制作。本章在简单介绍MEMS加工技术的基础上，对常用的力学、光学和流体微传感器中典型的结构与器件进行了介绍。基于MEMS的微传感技术6.1用于微传感器的MEMS器件制作技术6.2力学微传感器微压力传感器微加速度计微陀螺仪6.3光学微传感器微光开关微光机电系统型光开关6.4微流量传感器用于

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