CN119631166A 等离子体处理装置及等离子体处理方法 （株式会社日立高新技术）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119631166A

(43)申请公布日2025.03.14

(21)申请号202380021028.0

(22)申请日2023.07.12

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2024.08.08

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/JP2023/0256482023.07.12

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2025/013228JA2025.01.16

(71)申请人株式会社日立高新技术地址日本

(72)发明人今泉悟市川贵大

(74)专利代理机构中科专利商标代理有限责任

公司11021

专利代理师刘文海

(51)Int.Cl.

H01L21/3065(2006.01)

权利要求书2页说明书8页附图7页

(54)发明名称

等离子体处理装置及等离子体处理方法

(57)摘要

CN119631166A本公开的目的在于提供能够提高处理的成品率的技术。等离子体处理装置(100)的装置(CPU107)使用表示在高频电力的振幅大的期间(PA)和振幅小的期间(PB)中的任一期间(PA)开始后的经过了规定的时间(TMV)后的期间(PA)中检知到的高频电力的大小的信息来调节高频电力的供给。而且，装置(CPU107)具有可变地调节规定的时间的长度(TMV)

C