SEMI F180-0225 中文版（超纯水系统用抛光混床树脂性能测试标准）.docxVIP

SEMIF180-0225中文版（超纯水系统用抛光混床树脂性能测试标准）

前言

SEMIF180-0225是国际半导体设备与材料协会（SEMI）于2025年2月正式发布、全球半导体与高端光电制造同步强制执行的超纯水终端抛光混床树脂专属性能测试权威标准，替代SEMIF180过往旧版体系，是半导体晶圆、先进封装、平板显示、高端光伏、精密PCB载板等高端制造领域，超纯水抛光混床树脂入厂检验、性能标定、老化评估、失效判定、选型适配的唯一国际通用合规依据。本标准终结了全球高端制造行业长期依赖通用离子树脂测试标准、静态容量测试、无动态工况验证、无超低痕量析出管控的测试乱象，构建了适配先进制程的树脂全生命周期性能评价体系。

区别于通用化工树脂侧重交换容量、机械强度、含水率的基础测试逻辑，超纯水抛光混床树脂的核心价值在于超低痕量杂质溶出、零微粒释放、极低TOC析出、动态工况无泄漏、长期老化稳定性、高低负荷水质无漂移六大核心性能。抛光混床作为超纯水系统终端精处理核心单元，直接决定终端水质最终指标，是管控ppt级金属离子、微量有机物、亚微米颗粒的最后一道屏障。在5nm、3nm先进晶圆制程、MicroLED超高精细显示、HJT高效电池、IC载板精密制程中，树脂微量溶出、颗粒脱落、动态泄漏引发的水质超标，会直接导致晶圆缺陷、镀膜不良、电路漏电、器件效率衰减、可靠性失效等致命品质问题。传统测试标