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台积电0.13微米0.11微米假结构金属生成工具变更记录.pdfVIP

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  • 2026-06-02 发布于北京
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台积电0.13微米0.11微米假结构金属生成工具变更记录.pdf

    tsmc积体电路制造安全

    CTSMC‑

    版本生效日期变更单编号作者变更描述

    2.1A09‑23‑04E030200439012原始。

    移除旧文档编号‘T‑013‑LO‑LE‑004’

    2.2A12‑25‑06E070200650023将选项CUP更改为LmarkSealringCorner。

    2.3A01‑21‑10E070201004003才添加两个阻挡层：NT_N，HVOx；

    (PDKD)合并011公用设施。

    ：标题

    请参阅EDW工作流以查看详细

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