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- 2026-06-05 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN122138643A
(43)申请公布日2026.06.02
(21)申请号202411748780.8
(22)申请日2024.11.29
(71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司
地址100176北京市大兴区经济技术开发
区文昌大道8号
(72)发明人李星蔡雨晴张朝轩孙美娜
张明马超
(74)专利代理机构北京国昊天诚知识产权代理
有限公司11315
专利代理师刘亚岐
(51)Int.Cl.
H10P72/00(2026.01)
B08B3/02(2006.01)
权利要求书
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