CN119654442A 用上游旋涡模块和复合气体流处理馈送材料的等离子体装置和方法 （6K有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119654442A

(43)申请公布日2025.03.18

(21)申请号202380058244.2

(22)申请日2023.06.08

(30)优先权数据

63/3507462022.06.09US

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.02.07

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/US2023/0248102023.06.08

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2023/239845EN2023.12.14

(71)申请人6K有限公司

地址美国马萨诸塞州

(72)发明人M·C·科兹洛斯基M·雷斯尼克P·马蒂斯

(74)专利代理机构中国专利代理(香港)有限公

司72001

专利代理师任霄王磊

(51)Int.Cl.

C23C16/511(2006.01)

C23C4/134(2006.01)

H01J37/32(2006.01)

H05H1/30(2006.01)

权利要求书2页说明书9页附图8页

(54)发明名称

用上游旋涡模块和复合气体流处理馈送材

料的等离子体装置和方法

(57)摘要

CN119654442A本文中公开利用上游旋涡模块和复合气体流处理馈送材料的系统、方法和设备。一些实施例涉及一种用于