CN119654695A 用于检测过程环境的气体中的粒子的方法和设备以及具有这样的设备的涂覆系统 (英福康有限公司).docxVIP

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  • 2026-06-06 发布于山西
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CN119654695A 用于检测过程环境的气体中的粒子的方法和设备以及具有这样的设备的涂覆系统 (英福康有限公司).docx

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119654695A

(43)申请公布日2025.03.18

(21)申请号202280098633.3

(22)申请日2022.07.26

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.01.24

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/US2022/0383892022.07.26

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/025517EN2024.02.01

(71)申请人英福康有限公司

地址列支敦士登巴尔斯

(72)发明人U·韦尔奇利M·F·沃莱罗臧会东N·S·麦

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