CN119650552A 静电防护环结构及其制作方法 （联华电子股份有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119650552A

(43)申请公布日2025.03.18

(21)申请号202311203190.2

(22)申请日2023.09.18

(71)申请人联华电子股份有限公司地址中国台湾新竹市

(72)发明人孙家祯

(74)专利代理机构北京市柳沈律师事务所11105

专利代理师王锐

(51)Int.Cl.

H01L23/60(2006.01)

H01L21/48(2006.01)

权利要求书3页说明书6页附图5页

(54)发明名称

静电防护环结构及其制作方法

(57)摘要

CN119650552A本发明公开一种静电防护环结构及其制作方法，其中该静电防护环包含多个第一鳍状结构、多个第二鳍状结构、多个第一多晶硅导电线、多个第二多晶硅导电线、多个第三多晶硅导电线和多个单扩散阻断，各个第一鳍状结构上至少设置有一个单扩散阻断，单扩散阻断和第三多晶硅

CN119650552A

CN119650552A权利要求书1/3页

2

1.一种静电防护环结构，包含：

基底，其中第一方向和该基底的上表面平行、第二方向和该基底的该上表面平行，该第一方向和该第二方向垂直；

静电防护环，设置在该基