CN119668035A 极紫外光产生方法、极紫外光源组件及光学系统 （陕西星环聚能科技有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119668035A

(43)申请公布日2025.03.21

(21)申请号202311212358.6

(22)申请日2023.09.19

(71)申请人陕西星环聚能科技有限公司

地址710000陕西省西安市西咸新区沣西

新城西部云谷二期7A栋110室

(72)发明人谭熠陈锐

(74)专利代理机构北京智信禾专利代理有限公司11637

专利代理师张瑞

(51)Int.Cl.

G03F7/20(2006.01)

H05G2/00(2006.01)

权利要求书2页说明书9页附图2页

(54)发明名称

极紫外光产生方法、极紫外光源组件及光学

系统

(57)摘要

CN119668035A本申请实施例提供极紫外光产生方法、极紫外光源组件及光学系统，其中所述极紫外光产生方法包括：利用磁约束装置产生等离子体；在等离子体满足预设注入条件的情况下，控制重金属注入装置向磁约束装置中注入指定重金属，以使指定重金属在磁约束装置中与等离子体作用产生极紫外光；控制光学装置收集极紫外光。由于满足极紫外光产生要求的磁约束装置成本较低、运行简单且稳定、电光转换效率也较高，因此，上述极紫外光产生方法提高了极紫外光的稳定性，

CN119668035A

CN119668035A