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第62卷第3期真空VACUUMVol.62，No.3

2025年5月May.2025

大型并联真空系统抽气性能试验评估方法研究

孟少飞，孙常新，李宇辰，张诣，庞旭东

（中国空气动力研究与发展中心高速空气动力研究所，四川绵阳621000）

摘要：多台套真空泵并联系统的总抽气量通常低于单泵额定抽气量的总和，这对真空系统的精细化

设计带来一定的困难。针对该问题，提出了一种大型真空泵并联抽气性能试验评估方法。首先对多泵

并联工况下真空系统的总体抽气性能进行数学建模，对多泵并联系统总抽气量和单泵抽气量降幅两个

重要指标进行分析；其次对多泵并联试验工程方法进行研究，探索了基于小系统试验数据的大型并联

系统总抽气量预估方法，在此基础上确定了试验模型及测量方法；最后基于小系统试验数据，采