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GBT集成电路外延设备用圆形反应腔室石英穹顶-.pdf

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    ICS81.040.30

    CCSQ35

    团体标准

    T/CEMIA×××－××××

    集成电路外延设备用圆形反应腔室石英

    穹顶

    （CircularReactionChamberQuartzDomeforIntegratedCircuitEpit

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