原创力文档《半导体槽式清洗设备用石英载具》团体标准
（征求意见稿）
编制说明
2026年5月10日
一、工作简况
1.1任务来源
本项目由江苏富乐德石英科技有限公司提出申请，经中国电子材料行业协会
（CEMIA）批准后正式立项。鉴于当前石英载具在半导体槽式清洗设备应用中，
存在质量良莠不齐、技术指标不统一以及缺乏针对性标准等问题，特制定本团体
标准，以填补国内半导体槽式清洗设备用石英载具团体标准的空白
《半导体槽式清洗设备用石英载具》团体标准
（征求意见稿）
编制说明
2026年5月10日
一、工作简况
1.1任务来源
本项目由江苏富乐德石英科技有限公司提出申请，经中国电子材料行业协会
（CEMIA）批准后正式立项。鉴于当前石英载具在半导体槽式清洗设备应用中，
存在质量良莠不齐、技术指标不统一以及缺乏针对性标准等问题，特制定本团体
标准，以填补国内半导体槽式清洗设备用石英载具团体标准的空白
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