原创力文档《半导体用石英玻璃制品表层杂质元素含量测试方
法》
（征求意见稿）
编制说明
2026年5月10日
1/8
一、工作简况
1.1任务来源
当前，先进的芯片制程对石英玻璃制品的表面质量和洁净程度提出了近乎苛
刻的要求，即便是微量级的杂质或缺陷，也可能导致
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