（共55页PPT）苏翼凯教授基于AEMD平台加工的硅光子芯片.pptx

基于AEMD平台加工的硅光子芯片SiliconphotonicchipsfabricatedintheAEMDcenterofSJTU苏翼凯、、邱辞源、、姜新红、、何宇等DepartmentofElectronicEngineeringShanghaiJiaoTongUniversity,China

11摘要关于AEMD加工平台高效率(21nm/mW)纳米束热光可调滤波器低功耗(0.16mW)纳米束2x2热光开关基于亚波长光栅的高旁瓣抑制比(27dB)带通滤波器高消光比(30dB)的偏振分束器超紧凑的偏振分束和旋转器总结

22OutlineAboutA