原创力文档模拟集成电路版图设计
任务五了解天线效应
•天线效应原理
•在工艺生产中，暴露的一根根长长的poly或者metal等导体，收集周围游离的
电荷，当电荷足够多，当电压超过周围介质的耐压的时候就会发击穿，产生
放电。
•绝缘层一旦被击穿，就是不可逆的。进而发生各种失效，这种现象我们称之
为“天线效应”
天线效应
•天线效应中电压和栅氧面积的关系为=/，其中电容表达式为=/4。
•天线效应产生的电压可以表示为=(/)×(4/)。
天线效应
•小尺寸
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