罗门哈斯光阻Megaposit-SPR955-CM-Serie.pdfVIP

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  • 2026-06-18 发布于江苏
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MEGAPOSITSPR955-CM

SERIESPHOTORESIST

ForMicrolithographyApplications

DESCRIPTIONFigure1.

DenseContactHoles

MEGAPOSITSPR955-CMSeriesPhotoresistisageneral

0.300µm0.350µm

purpose,high-throughput,i-Linephotoresistfor0.35

µmfront-endandback-

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