CN119689020A 基于pt对称的谐振型流场mems传感器及其制备方法 (上海交通大学).pdfVIP

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  • 2026-06-17 发布于重庆
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CN119689020A 基于pt对称的谐振型流场mems传感器及其制备方法 (上海交通大学).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119689020A

(43)申请公布日2025.03.25

(21)申请号202411879781.6G01P5/24(2006.01)

(22)申请日2024.12.1

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