CN119744109A 具有快速响应的薄膜热电堆热流传感器及制备方法 （西南科技大学）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119744109A

(43)申请公布日2025.04.01

(21)申请号202411862783.4

(22)申请日2024.12.17

(71)申请人西南科技大学

地址621010四川省绵阳市涪城区青龙大

道中段59号

(72)发明人石夜明代波靳兴运崔庆雄陈浩吴俊波陈治韩

(74)专利代理机构成都方圆聿联专利代理事务所(普通合伙)51241

专利代理师薛亚峰

(51)Int.Cl.

H10N10/854(2023.01)

H10N10/01(2023.01)

H10N10/817(2023.01)

C23C14/18(2006.01)

C23C14/04(2006.01)

C23C14/34(2006.01)

权利要求书2页说明书6页附图8页

(54)发明名称

具有快速响应的薄膜热电堆热流传感器及

制备方法

(57)摘要

CN119744109A本发明提供一种具有快速响应的薄膜热电堆热流传感器及制备方法，属于传感器技术领域。包括：第一层衬底；第二层冷结点层，由L形的Cu与L形的康铜尾部搭接形成，L形的Cu与L形的康铜尾部搭接连接部分为冷结点；第三层热阻层，覆盖到第二层的L形的Cu与L形的康铜上；第四层为热结点层，由