CN119744052A 保护膜形成膜及带保护膜的工件加工物的制造方法 （琳得科株式会社）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119744052A

(43)申请公布日2025.04.01

(21)申请号202411334817.2

(22)申请日2024.09.24

(30)优先权数据

2023-1652092023.09.27JP

2024-1139302024.07.17JP

2024-1222802024.07.29JP

(71)申请人琳得科株式会社地址日本东京都

(72)发明人中村大智野岛一马堂下美纱季

(74)专利代理机构北京路浩知识产权代理有限

公司11002

专利代理师陈玉净田凌宇

(51)Int.Cl.

H10H20/84(2025.01)

H10H20/01(2025.01)

H01L21/67(2006.01)

权利要求书1页说明书37页附图1页

(54)发明名称

保护膜形成膜及带保护膜的工件加工物的

制造方法

(57)摘要

CN119744052A本发明涉及保护膜形成膜，其用于在通过对工件进行加工而得到的工件加工物的任一位置形成保护膜，当保护膜形成膜为固化性时，保护膜形成膜的固化物的420~700nm的全波长范围的光的反射率为22%以上，且所述固化物的波长532nm及1064nm中的任意一者或两者的光的吸收率为7%以上，当保护膜形成膜为