干膜曝光原理.pptVIP

平行光光路圖1.設備外觀平行光反射鏡光線整合器反射鏡燈泡及燈罩設備組成光源發出來的光，部份經過聚光器，然後再經過介質性的冷光面鏡或雙向鋁鏡，而反射出來；此兩種鏡面也可當作紅外線濾光器雙向鋁鏡，讓光源中的紅外光透過，其中之熱量則被散熱座所吸收。剩下的冷光成90度折射透過另外一個雙凸透鏡的組合(一般稱為光線整合器Lightintegrator)，此時紅外光被濾走，剩下來幾乎都是很純的紫外光，是一種外觀為藍色的光，其波長在320~405Nanometer(l0-9m)之間。然後再到達另兩個反射外表，一般稱此為平行光反射鏡，變成平行光線反射出來，到達工作區域上。平行光產生原理是利用光學透鏡或反射鏡的折射反射原理，來修正由點狀光源發出光線的進行方向，使其在達到被照射面時成平行光。電路板曝光所用大面積平行光系統則是應用拋物面反射的原理，使用集光器聚集由汞氙短弧燈點狀光源所發出散射光所產生光柱，經冷光鏡反射去除掉大局部紅外線及可見光熱能後。再利用光學積光器修正并消除光柱中角度過大的光線，使成為平行光鏡焦點上的虛擬點光源，經平行光鏡反射後照射到曝光台面上的UV光就是平行光。光路平行光原理

非曝光部分曝光部分理想狀態實際狀態干膜曝光原理﹕3(PI)*-R+R-R‘3(PI)*-R-R‘+Rtriplettriplet3(PI)*-