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蚀刻速率调控要素与实战操作解析.pptx

蚀刻速率调控要素与实战操作解析.pptx

    蚀刻速率的影响原因及操作;优选蚀刻速率的影响原因及操作;影响蚀刻速率的原因;蚀刻原理;速度（影响蚀刻时间，与速率无关。

    28)to34?Be(1.

    增大游离算的浓度能够增大蚀刻值，但也会增大侧蚀值；

    产品生产过程中，保持产线的ORP大于580mv，能够保持蚀刻的最大蚀刻速率。

    不同浓度的游离酸的影响

    ORP数值可提升，使药水的ORP数值始终保持在570mv以上，保持较高的蚀刻速率。

    （b)式用来计算比水轻的液体。

    温度40?Cto55?C

    0-3N的游离酸量时，蚀刻速率的增长和游离酸的量成正比；

    ORP

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