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CN119775048A 一种用于石英晶体的高精度双面同步刻蚀系统及方法 （北京精恒工控科技有限公司）.docxVIP

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  • 2026-06-24 发布于山西
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CN119775048A 一种用于石英晶体的高精度双面同步刻蚀系统及方法 （北京精恒工控科技有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119775048A

    (43)申请公布日2025.04.08

    (21)申请号202510272457.6

    (22)申请日2025.03.10

    (71)申请人北京精恒工控科技有限公司

    地址101118北京市通州区宋庄镇草寺村

    委会南300米

    (72)发明人廖占武

    (74)专利代理机构北京萤火虫知识产权代理事务所(普通合伙)16158

    专利代理师田亚飞

    (51)Int.Cl.

    C04B41/53(2006.01)

    G06F17/18(2006.01)

    权利要求书3页说明书9页附图1页

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