扫描电镜成像深度解析指南.pptx

扫描电镜的图像分析;扫描电镜辨别率定义为能够清楚地辨别试样上最小细节的能力，通常以清楚地辨别二次电子图象上两点或两个细节之间的最小距离表示，如上图示。

辨别能力是SEM最主要的性能指标，目前，钨灯丝SEM二次电子像的辨别率为3nm～6nm，但是，这不是日常工作能实现的，只是验收指标，它与观察条件、图象的亮度、对比度、信噪比相关。

钨灯丝SEM在日常工作条件下，用普通试样照相，能作到6nm辨别率就相当不易了。在此辨别率下，能够在5万倍以上拍出清楚照片。通常情况下，用3万倍对普通样品照相（如陶瓷、矿物），能给出清楚二次电子照片，就属高水平。;