高质量NbTiN超导薄膜制备工艺改进与性能表征.pdfVIP

第31卷第6期功能材料与器件学报Vol.

31,

No.

6

2025年12月JOURNALOFFUNCTIONALMATERIALSANDDEVICESDec.,

2025

文章编号:

1007-4252(2025)06-0486-08DOI:

10.20027/j.gncq.2025.0040CSTR:

32180.14.j.gncq.2025.0040

高质量NbTiN超导薄膜制备工艺改进与性能表征

陈

颖，郑晓晴，周

慧，陈敬学，马

淼，李

浩，张孝富，尤立星*

（中国科学院上海微系统与信息技术研究所，上海

200050）

摘要：NbTiN薄膜因具有低电阻率、高临界温度、高临界电流密度以及高临界磁场等优异的超