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洁净室专题：AI先进制程发展下半导体资本开支扩张，洁净室下游高景气延续

2026年06月24日

【投资要点】

u洁净室：上游供应稳定、国产化率提升，下游高景气。洁净室是将空气中的微粒子等微污染物排除，并将室内的洁净度等控制在需求范围内而特别设计的空间。其上游主要为FFU、过滤器、AMHS系统等材料和设备，多数产品为标准化产品，供应充足，国内品牌逐步占领主导地位（FFU供应商美埃科技2019-22三年市占率提升25%+至30%）。下游方面，洁净室客户主要为集成电路、光伏、显示面板、医药、食品等