CN119828207A 一种半导体漂移室探测器漂移特性的测试系统及方法 （南京大学）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119828207A

(43)申请公布日2025.04.15

(21)申请号202510334586.3

(22)申请日2025.03.20

(71)申请人南京大学

地址210023江苏省南京市栖霞区仙林大

道163号

申请人合肥国家实验室

(72)发明人徐尉宗郭越徐仁杰陆海任芳芳周东

(74)专利代理机构武汉开元知识产权代理有限

公司42104

专利代理师刘懋然周俊

(51)Int.Cl.

G01T7/00(2006.01)

权利要求书2页说明书6页附图4页

(54)发明名称

一种半导体漂移室探测器漂移特性的测试

系统及方法

(57)摘要

CN119828207A本发明涉及半导体漂移室探测器测量领域，具体涉及一种半导体漂移室探测器漂移特性的测试系统及方法。测试系统包括双面探针台、半导体漂移室探测器、第一双通道数字万用表、第二双通道数字万用表、激光器和光纤夹具。双面探针台用于固定和连接探测器，数字万用表分别施加偏压和采集数据，激光器通过光纤照射探测器背面。测试时，先选激光器波长并调光功率，将探测器置于暗室双面探针台并连接设备，光照后设置电压并监测电流，调整光照位置，依据不同光照位置电流差判断横向漂移特性是否合格。该测试系统及方法，相比传统集