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- 2026-07-03 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119650414A
(43)申请公布日2025.03.18
(21)申请号202411824168.4
(22)申请日2024.12.12
(71)申请人厦门大学
地址361000福建省厦门市思明南路422号
(72)发明人袁丛辉罗雨戴李宗罗德浩
陈国荣罗伟昂
(74)专利代理机构厦门市首创君合专利事务所
有限公司35204
专利代理师张松亭姜谧
(51)Int.Cl.
H01L21/02(2006.01)
H01L21/683(2006.01)
权利要求书1页说明书4页附图3页
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