CN119833436A 基板处理系统以及状态监视方法 （东京毅力科创株式会社）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119833436A

(43)申请公布日2025.04.15

(21)申请号202411824132.6

(22)申请日2021.08.25

(30)优先权数据

2020-1473642020.09.02JP

(62)分案原申请数据

202110983213.02021.08.25

(71)申请人东京毅力科创株式会社地址日本

(72)发明人兒玉俊昭

(74)专利代理机构北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277

专利代理师刘新宇李靖

(51)Int.Cl.

H01L21/67(2006.01)

H01L21/677(2006.01)

H01J37/32(2006.01)

权利要求书3页说明书13页附图5页

(54)发明名称

基板处理系统以及状态监视方法

(57)摘要

CN119833436A本发明提供一种基板处理系统以及状态监视方法，该基板处理系统具备：基板处理装置，其对处理基板进行处理；基板搬送机构，其具有保持基板的基板保持部，基板搬送机构构成为能够通过基板保持部来保持基板并相对于基板处理装置搬入和搬出该基板；摄像装置，其设置于基板搬送机构，用于拍摄基板处理装置内的监视对象构件；以及控制装置，其中，控制装置使基板保持部移动，并使摄像装置拍摄监