磁控溅射设备报废标准.docxVIP

磁控溅射设备报废标准

磁控溅射设备报废标准

一、磁控溅射设备核心性能劣化与技术性报废判定标准

磁控溅射设备作为高精度真空镀膜装备，其是否应当报废首先取决于设备本体核心技术性能指标是否发生不可逆的衰减或丧失。当经过正规维修、调试、更换易损件后仍然无法恢复到满足最低生产工艺要求的技术状态时，即达到技术性报废门槛，具体可从以下四个维度进行综合判定。

（1）极限真空度与抽速严重衰减且无法修复。真空腔体及抽气系统是磁控溅射设备最基础也是最重要的组成部分，新设备或合格在用设备通常在经烘烤除气后，高真空分子泵机组应在规定时间内将腔体抽到极限真空度（一般为优于5×10??Pa或更高，视设备等级而定），且基压