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低温水热法制备Al掺杂ZnO薄膜的方法概述

研究人员采用了多种方法合成镁掺杂ZnO薄膜，包括共沉淀法、水热法、溶胶-凝胶法等。在这些方法中，水热法因其成本低[18]、实验设备简单、容易调整掺杂量而受到人们的广泛关注。

SiyiLiu等[18]采用低温水热法合成Mg掺杂ZnO薄膜。制备过程中，先将[Zn(OAc)2.2H2O]和[Mg(OAc)2.4H2O]溶于DMSO(二甲亚砜)中，连续磁化搅拌形成均匀溶液，然后将TMAH(四甲基氢氧化铵五水)和乙醇溶液滴入混合液中。将混合物磁化搅拌，得到Zn0.99Mg0.01O纳米粒子。然后，用过量丙酮沉淀溶液，离心2次。最后，将所得的Mg掺杂ZnO纳米粒子分散于乙醇中。此外，为了研究Mg掺杂对ZnO薄膜光学性质的影响，除了改变Mg的质量外，还采用上述方法制备了x=0、0.02、0.04和0.06的Zn1-xMgxO纳米粒子，即纯ZnO纳米薄膜和Mg掺杂ZnO纳米薄膜。

利用X射线衍射对Mg含量分别为x=0、0.01、0.02、0.04和0.06的Zn1-xMgxO薄膜进行衍射分析的XRD图谱如图3-6所示。观察XRD谱图，衍射峰证实所有样品均为六方纤锌矿结构，且未检测到MgO或其他相的衍射峰。随着掺杂Mg的浓度增大，衍射峰的位置却几乎没有变化，得到大多数Mg2+离子都是通过取代Zn2+离子而掺杂到ZnO晶格中的结论。这是因为Mg2+和Zn2