光电技术入门基础知识精讲.pptVIP

;;电磁透镜的焦距f可由下式求得;;二电子波的波长;;三电磁透镜;电磁透镜和静电透镜相比有如下的优点;;一束平行于主轴的入射电子束通过电磁透镜将被聚焦在轴线上一点，即焦点F;有极靴的透镜极靴使得磁场被聚焦在极靴上下的间隔h内，h能够小到几个mm。在此小的区域内，磁场强度得到加强。;四电磁透镜的像差及对辨别率的影响;4.1.1球差;散焦斑的半径RS能够表示为：;像差是由透镜磁场的非旋转对称而引发的。;透镜磁场不对称，可能是因为极靴被污染，或极靴的机械不对称性，或极靴材料各向磁导率差别引发（由制造精度引发）。像散可通过引入一种强度和方向都能够调整的矫正电磁消像散器来矫正。;色差是因为入射电子波长（或能量）不同造成的。因为色差引发的散焦斑半径折算到原物平面后的表示式为：;;4.1.4、像差对辨别率的影响;在透射电子显微镜中，α的值普通很小（普通不会超出5度），所以有sinα≈α；电子波在真空中传输，所以n=1，故上式又能够写成：;所以有如下的等式：;五电磁透镜的景深和焦长;5.1、景深;;对于电磁透镜来讲，α都很小，普通为10-2~10-3rad，所以电磁透镜的景深为Df=(200~)Δr0；假如电磁透镜的辨别本事是0.1nm，景深为20~200nm。在使用物镜光阑的前提下，孔径半角普通取较小的值，因此电镜样品在100~200nm时均能得到