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增强现实光波导镜片量产良率提升与视场角拓展

摘要：增强现实（AR）光波导镜片是AR眼镜的核心光学元件，但其量产良率长期偏低（不足40%），且视场角（FOV）受限于衍射效率与色散问题。本文系统分析了光波导镜片制造中的关键缺陷来源，包括纳米压印光刻胶的均匀性、衍射光栅的侧壁粗糙度与晶圆键合的对准误差。在此基础上，提出了基于灰度光刻与软压印的改良工艺，将衍射光栅的齿形精度从±15nm提升至±5nm，使量产良率从38%提升至72%。针对视场角拓展，设计了双光栅耦合与偏振复用架构，将单色FOV从30°拓展至55°，彩色FOV从20°拓展至45°。结合某AR光学模组厂的量产数据，评估了工艺改进对成本与性能的影响。本工作旨在为AR光波导镜片的规模化生产提供技术参考。

关键词：增强现实；光波导；衍射光栅；量产良率；视场角

第一章绪论

增强现实（AR）眼镜被认为是继智能手机之后的下一个个人计算平台。然而，AR眼镜的大规模普及面临着一个核心瓶颈——光学显示模组的性能与成本。在众多光学方案中，衍射光波导（DiffractiveWaveguide）因其轻薄、眼动范围大与可量产性，成为当前最主流的技术路线。微软HoloLens、MagicLeap与MetaOrion等产品均采用了衍射光波导方案。但光波导镜片的制造难度极高——它需要在晶圆级基底上制作纳米精度的衍射光栅，光栅的齿形深度、占空比与侧壁