CN119836397A Mems张紧结构及其制造方法 （卡利恩特Ai公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119836397A

(43)申请公布日2025.04.15

(21)申请号202380067377.6

(22)申请日2023.09.17

(30)优先权数据

63/376,3352022.09.20US18/468,6872023.09.16US

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.03.19

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/US2023/0744192023.09.17

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/064595EN2024.03.28

(71)申请人卡利恩特AI公司地址美国加利福尼亚州

(72)发明人安德鲁·霍金

(74)专利代理机构北京康信知识产权代理有限责任公司11240

专利代理师刘凤迪

(51)Int.Cl.

B81B7/04(2006.01)

B81B3/00(2006.01)

权利要求书2页说明书15页附图19页

(54)发明名称

MEMS张紧结构及其制造方法

(57)摘要

CN119836397A一种微机电（MEM）装置，可以包括：第一平台，包括第一平台反射表面；第一框架，枢转地联接到第一平台；第二框架，联接到第一框架；以及以下项中的一者或多者：位于第一框架和第二框架上的第二框架柔性结构或位