CN119836491A 蚀刻液组合物的制造方法 （花王株式会社）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119836491A

(43)申请公布日2025.04.15

(21)申请号202380064697.6

(22)申请日2023.09.06

(30)优先权数据

2022-1421982022.09.07JP

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.03.07

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/JP2023/0324732023.09.06

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/053659JA2024.03.14

(71)申请人花王株式会社

地址日本

(72)发明人木村阳介佐藤宽司

(74)专利代理机构中科专利商标代理有限责任

公司11021

专利代理师王铭浩

(51)Int.Cl.

C23F1/26(2006.01)

C23F1/18(2006.01)

C23F1/20(2006.01)

C23F1/28(2006.01)

C23F1/30(2006.01)

H01L21/308(2006.01)

权利要求书2页说明书17页附图1页

(54)发明名称

蚀刻液组合物的制造方法

(57)摘要

CN119836491A在一个方式中，本发明提供一种蚀刻液组合物的制造方法，其可抑制向容器填充时的滴液。在一个方式中，本发