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气相沉积区域准入规则

气相沉积区域准入规则

一、（1）人员资质认证与准入授权管理制度。气相沉积区域（含化学气相沉积CVD、物理气相沉积PVD、原子层沉积ALD、等离子体增强化学气相沉积PECVD及各类真空蒸镀室）属于微电子与纳米材料制备平台的高风险核心工艺区，任何人员进入该区域前必须完成三级培训与考核并获得书面授权。第一级为平台通用安全入门培训，内容包括实验室EHS基本方针、紧急疏散路线识别、消防器材取用方法、洗眼器与紧急冲淋装置的位置及操作方法、危化气体泄漏报警信号辨识、人员禁止单独滞留规定等，学时必须不少于四学时且经闭卷考试达到八十分以上方为合格。第二级为洁净受控环境专项培训，重点讲授气