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- 2026-07-07 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119294012A
(43)申请公布日2025.01.10
(21)申请号202411820262.2
(22)申请日2024.12.11
(71)申请人华南理工大学
地址510640广东省广州市天河区五山路
381号
申请人广东华矽半导体设备有限公司
(72)发明人朱本亮黎杰荣梁经伦张文涛
郭龙龙蒋泉生吴镇锋
(74)专利代理机构广州粤高专利商标代理有限
公司44102
专利代理师江裕强
(51)Int.Cl.
G06F30/17(2020.01)
G06F30/23(2020.01)
G06F119/14(
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