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气相沉积气体使用规定

气相沉积气体使用规定

一、气相沉积气体采购验收、分类储存与供气系统基础设施管控规定

（1）采购渠道资质审查与到货验收管控要求。所有用于化学气相沉积及物理气相沉积工艺的气体，包括硅烷、磷烷、硼烷、氨气、氯化氢、氟化氢、氢气、氧气、氮气、氩气及各类有机金属前驱体气源，必须从取得危险化学品经营许可证、安全生产许可证及气瓶充装许可证的合法供应商处采购，严禁从无资质单位或个人购置任何工艺气体。采购前须由使用部门填写特种气体使用申请单，注明气体名称、纯度等级、危险类别、预计用量及使用周期，经安全环保部门审核批准后方可下单。气体送达现场后，由库房管理人员与使用单位人员共同进行到货验收