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固态电解质薄膜的等离子喷涂-激光同步烧结后处理设备设计

摘要

固态电池因其高安全性与高能量密度成为储能领域焦点，而固态电解质薄膜的制备是制约其商业化的核心痛点。传统真空等离子喷涂（VPS）制备的电解质薄膜孔隙率高、晶界阻抗大，需依赖后续热处理。本课题针对此现实痛点，设计了一种真空等离子喷枪与同轴跟随脉冲激光器同步扫描的后处理设备，旨在通过激光同步烧结实现薄膜沉积与致密化的原位耦合。全文遵循工程递进思路展开：首先进行需求分析，明确设备在真空环境下的功能与性能指标；其次开展总体设计，规划硬件架构与扫描机构模块；随后进行详细设计，重点阐述喷枪与激光同轴扫描机构的运动学模型与控制算法；最终完成系统实现与测试。设计的核心创新点在于提出“喷涂-烧结”同轴跟随扫描机构与时空协同控制策略，有效解决了传统离线烧结热应力大、周期长的难题，为高性能固态电解质薄膜的制备提供了新装备方案。

第一章绪论

1.1研究背景

固态锂电池凭借其不可燃的固态电解质体系，从根本上消除了液态锂电池的热失控隐患，同时兼容更高比容量的锂金属负极，成为下一代动力电池的核心技术路线。然而，固态电解质薄膜的规模化高质量制备仍是制约其迈向商业化的核心痛点。在众多制备工艺中，真空等离子喷涂（VPS）具有沉积速率快、成分范围广、易于大面积成膜等优势，被视为极具潜力的薄膜制备技术。

但VPS工艺存在固有缺陷：熔融颗粒在