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洁净室工艺卫生管理制度实用指南.pdf

洁净室工艺卫生管理制度实用指南.pdf

    洁净室工艺卫生管理制度

    Y/SMA01-Z07.10-05

    净室区空气消毒洁净室空气消毒用臭氧每天工作人员首次进入洁净室工作半小时前开启换气空调系统及臭氧发生器开启分钟后关闭臭氧发生器下班前开启臭氧发生器及换气系统半小时后关机每月进行一次加强消毒各区域紫外灯照射分钟或臭氧消毒半小时以上消毒剂选择使用

    1目的

    为了有效控制洁净室设备清洁、工装模具清洁、工位器具清洁、物料清洁、操作台、场

    地、墙壁、顶棚清洁、清洁工具的清洁及存放、洁净室（区）空气消毒、消毒剂选择、使

    用的管理等工艺卫生管理，特制定本管理制度。

    2范围

    使用

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