CN119710908A 一种利用分子束外延技术在同一衬底上制备分立薄膜的方法 （浙江光电子研究院）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119710908A

(43)申请公布日2025.03.28

(21)申请号202411806094.1

(22)申请日2024.12.10

(71)申请人浙江光电子研究院

地址321000浙江省金华市婺城区北山路

285号

(72)发明人吴传易陈飞韩佳王锦陈晨

(74)专利代理机构南京苏创专利代理事务所

(普通合伙)32273

专利代理师吴太平

(51)Int.Cl.

C30B23/04(2006.01)

C30B29/02(2006.01)

C30B29/52(2006.01)

H01L21/02(2006.01)