CN119650475A 承载台、对准方法、设备、存储介质及程序产品 （浙江创芯集成电路有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119650475A

(43)申请公布日2025.03.18

(21)申请号202411825915.6

(22)申请日2024.12.11

(71)申请人浙江创芯集成电路有限公司

地址311200浙江省杭州市萧山区宁围街

道平澜路2118号浙江大学杭州国际科

创中心水博园区11幢4层-5层（自主申

报）

(72)发明人李超

(74)专利代理机构上海知锦知识产权代理事务

所(特殊普通合伙)31327

专利代理师李成龙

(51)Int.Cl.

H01L21/67(2006.01)

H01L21/68(2006.01)

H01L21