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附录A

(规范性)

不同直径晶圆片的均匀布点方式及点位编号

A.1总则

A.1.1本附录规定了直径为76.2 mm（3英寸）、100 mm（4英寸）、150 mm（6英寸）和200 mm（8

英寸）的声表面波器件用硅基铌酸锂单晶薄膜晶圆片在片内均匀性测试中采用均匀布点法时的布点方式

及点位编号要求。

A.1.2不同直径晶圆片的测试点数量、分布半径及点位设置应与其尺寸、稳定质量区范围及片内均匀性

测试要求相适应。

A.1.3测试点应布设在稳定质量区内，边缘去除区不应作为片内均匀性评价区域。

A.1.4均匀布点应遵循中心区域、过渡区域和边缘附近区域均有覆盖的原则，且应保证点位分布具有代

表性和对称性。

A.1.5不同直径晶圆片的边缘去除区宽度应符合表A.1的规定，其具体布点方式和点位编号应符合本附

录的规定。

A.2布点原则

A.2.1测试点应沿晶圆片中心对称布设。

A.2.2测试点不应集中分布于局部区域，应覆盖晶圆片中心区域及外围区域。

A.2.3同一分布半径上的测试点宜按圆周方向均匀分布。

A.2.4不同测试项目在同一样品上